超(chao)純(chun)水設備(bei)是采(cai)用(yong)預處理(li)、反滲透技術、超純化處理以及(ji)後(hou)級(ji)處理等方法，將水(shui)中(zhong)的導(dao)電介質幾(ji)乎完(wan)全去(qu)除(chu)，又將水中不離(li)解的(de)膠(jiao)體物質(zhi)、氣體及有機物均去除至很(hen)低(di)程度的水處理設備。

　　一、5T/H超純水設備產水指標(biao)

　　電阻率(lv)@25℃：大(da)於(yu)等(deng)於10MΩ·cm

　　PH值：6.6-7.4

　　細菌(jun)總數：<9個(ge)/ml

　　微粒(>0.22µm )：≤500個/L

　　總有機(ji)碳：≤100ppb

　　二、5T/H超純水設備工藝

　　原水箱→增壓(ya)泵(beng)→石英(ying)砂過濾器→活(huo)性炭過濾(lv)器(qi)→軟水器→一(yi)級RO主機→一(yi)級純水箱→二級RO主機→二級純水箱→增壓(ya)泵(beng)→紫(zi)外(wai)線殺菌器→膜濾器→EDI係(xi)統(tong)→TOC脫除器+脫氣膜(mo)+拋光(guang)混(hun)床(chuang)→終(zhong)端(duan)膜濾器

　　三、5T/H超純水設備組成

　　1、原水箱

　　原水箱主要(yao)起到緩衝和調節進水量的作用，防止進(jin)水水量和(he)水壓不穩定(ding)對設備造成的損壞(huai)和影(ying)響。

　　2、原水泵

　　原水泵從(cong)原水箱取水，對(dui)水箱(xiang)內的水增(zeng)壓，達(da)到(dao)後續設備的運行的壓力(li)和水量的要求。

　　3、石英砂(sha)過濾器

　　石英砂過濾器中通過裝填(tian)不同粒(li)徑的高純度的石英砂對原(yuan)水中懸浮(fu)物、顆粒物(wu)及膠體等物質進行過濾，同時對原水中的濁(zhuo)度起到降(jiang)低作用。

　　4、活性(xing)炭過(guo)濾器

　　活性炭過濾器係統是利用活性炭吸附機理，引起吸(xi)附(fu)的主要原因(yin)在於溶質對水的疏(shu)水特性和溶質對固(gu)體顆粒的高(gao)度親(qin)和力。活性炭過濾器能夠吸附水中的有機物，膠體和餘氯等。去除各(ge)種溶(rong)解性的有(you)機物。還(hai)能去除水中的臭味、色度、以及殘留的濁度(du)。

　　5、保(bao)安過濾器

　　在RO裝置之(zhi)前設置(zhi)保安過濾器，目(mu)的是防止水中的大顆粒物進入(ru)反滲透膜，損壞反滲透膜，確保RO的正常運行。

　　6、立(li)式高壓泵

　　反滲透的使用過程中，水的流向和運動是逆(ni)自然滲(shen)透的，要改變(bian)這種(zhong)逆自(zi)然(ran)的滲透，必須給液體一個動力，使(shi)它改(gai)變自然滲透過程中，淡水向(xiang)濃(nong)水方向運動，鹽份(fen)向淡水方向滲透的規(gui)律，而提高這個動(dong)力有效的措施是增加外界壓力，高壓泵為反滲透(tou)膜組提供足(zu)夠(gou)的進水壓力，維持反滲透膜的正常運行。

　　7、反(fan)滲透係統

　　反滲透(RO)係統利用反向滲透原理，主要去除水中溶解鹽類，同(tong)時去除一些大分子和預處理未(wei)去除的小(xiao)顆粒等。其功能(neng)是對經過預(yu)處理的產水進行(xing)脫鹽。

　　8、RO產(chan)水箱

　　RO產水箱主要起到緩衝和調節水量的作(zuo)用。

　　9、紫外線殺菌器

　　紫外線殺(sha)菌器，其優點(dian)為輻(fu)照(zhao)強度穩(wen)定性高，殺菌壽(shou)命長達9000小時，高透過率石(shi)英玻璃管，透光率≥87%，單價也(ye)比(bi)同類(lei)產品適中，殺菌壽命達8000小時後，其輻照強(qiang)度在253.7um保持穩定不變，比國內同類產品輻照強度穩定不變。與國外同類產品(pin)相(xiang)比殺菌強度提高了(le)18%-27%，殺菌率能夠達到99.99%。

　　10、EDI係統

　　一般自然水源中存在鈉(na)、鈣、鎂、氯化物、硝(xiao)酸(suan)鹽(yan)、碳(tan)酸氫(qing)鹽等溶解物，這些化合物由帶負(fu)電荷的陰(yin)離子(zi)和帶正電(dian)荷的陽(yang)離子組成。通過反滲透(RO)的處理，95%～99%以上的離子可以(yi)被去除，RO純水(EDI給水)電阻率的一般範圍是0.05～1.0MΩ.cm，即(ji)電導率的範圍為(wei)20～1μS/cm。根據應用的情(qing)況，去離子水電阻率的範圍一般(ban)為5～18MΩ.cm。另外，原水中也可(ke)能包(bao)括(kuo)其它微量(liang)元素、溶解的氣體(例如(ru)CO2)和一些(xie)弱電解質(例如(ru)硼、二氧(yang)化矽)，這些雜(za)質在工業(ye)除鹽水中必須(xu)被除掉，但是反滲透過程對於這(zhe)些雜質的清除效果較差。因此，EDI的作用就(jiu)是通(tong)過除去電解質(包括弱(ruo)電解質)的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ.cm提高到5～16MΩ.cm。

　　11、TOC脫除器

　　其殺菌原理與(yu)紫外線(xian)殺菌器相同，但是TOC脫(tuo)除器使用的是185nm的紫外線，相比於253.7nm的紫外線具有更高的能量，可以深(shen)度降解水源(yuan)中的TOC，最小可控製(zhi)產水TOC在5PPb以內。

　　四、5T/H超純水設備優(you)勢

　　設備主要采用EDI和反滲透技術(shu)，產水可以達到15兆歐以上，出水水質完全(quan)符合半(ban)電子廠的用水標準。設備具有結(jie)構合理簡單、連續運行、操作方便(bian)、、自動化程度高、使用壽命長、自動化(hua)運行、占地麵(mian)積小、出水水質高等優勢。

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